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Keithley 6517B 静电计 / 高阻表是科研实验室灵敏测量的标准。吉时利在弱电测量方面拥有 60 多年的专业经验，吉时利静电计能够可靠地测量最低 10 aA (10×10-18A) 电流、最低 1 fC 电荷，并支持最高 1018Ω 的电阻测量。6517B 还能够测量高达 200 V 的最大电压范围，输入阻抗超过 200 TΩ。所有这些性能都融合在一台仪器中，操作起来像数字万用表一样简便。

出众的性能指标

半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低 电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅 0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于 接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入 阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确 度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试 和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。

测量范围宽

6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：

• 电流测量范围：10aA - 20mA

• 电压测量范围：1μV - 200V

• 电阻测量范围：1Ω - 1018Ω

• 电荷测量范围：1fC - 2μC

主要性能指标：

• 测量高达 10¹⁸ Ω的电阻

• 10 aA (10×10^-18 A) 电流测量分辨率

• 6517B、8009 电阻率测试夹具和 KickStart 高电阻率应用相结合，为 ASTM D257 高电阻率测量提供完整的硬件和软件解决方案

• <3 fA 输入偏置电流

• 6 位半高准确度测量模式

• 最低电流范围上 <20μV 压降

• 高达 200 V 电压测量，>200Ω 输入阻抗

• 内置 ±1000 V 电压源

• 独有高阻测量交换电极电压源和测量方法

• 内置测试序列，支持四种不同器件表征测试、表面和体电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描

• 选配插入式扫描卡，可使用一个测试设置测试最多 10个器件或材料样本

• GPIB 和 RS-232 接口

改进高电阻率测量

许多测试应用要求材料有高电阻率 ( 表面或体积 )。传统测量方法对样本应用足够大的电压，测量流经样本的电流，然后使用欧姆定律 (R=V/I) 算出电阻。尽管高阻材料和器件产 生的电流很小，很难准确测量，但吉时利静电计和皮安计可以成功地完成这些测量。

即使使用的是优质仪器，材料中固有的背景电流仍可能使其 很难准确地执行测量。由于压电效应、静电对电容元件充电 及偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料一般都有背景电流。 背景电流通常大于等于应用的电压产生的电流。在这些情况 下，结果通常会不稳定，提供的电阻读数或电阻率读数不准， 甚至会产生错误的负值。吉时利 6517B 就是为解决这些问 题而设计的，可以一致地、可重复地、准确地测量各种材料 和元件，特别是在与 8009 电阻率测试夹具结合使用时。

交换电极高电阻率测量方法

6517B 采用交换电极方法，几乎消除了样本中任何背景电 流的影响，另外也抵消了背景电流的一级和二级漂移。交换 电极方法应用正极性电压，然后在指定延迟 ( 测量时间 ) 后 测量电流。然后颠倒极性，使用相同的延迟再次测量电流。 这一过程一直重复，最后根据四个最新电流测量的加权平均 值计算出电阻。 在大多数材料上，通过 7 次反转 ( 即舍弃 前三个读数 )，这种方法一般可以得出高度可重复的、准确 的电阻 ( 或电阻率 ) 测量数据。例如，在 8009 电阻率测试 夹具中，可以以 0.3% 的可重复率测量 1mm 厚的 1014 Ω-cm 材料样本，在 15 秒周期内得到 <200 fA 的背景电流变化。

与内置源增强高阻测量准确度

湿度和温度会明显影响材料的电阻率值。为帮助您准确比较 在变化条件下采集的读数，6517B 提供了一个内置 K 型热 电耦，并可以选配 6517-RH 相对湿度探头。内置 50,000 个读数的数据存储缓冲器可以记录和调用测量数据，包括测 量时间、温度和相对湿度戳记。

完整的高电阻率测量解决方案

可以使用以下套件，采用标准 ASTM D-257 “绝缘材料的DC 电阻或电导”规定的方法执行高电阻率测量：

KICKSTARTFL-HRMA2 高电阻率应用，适用 KickStart仪器软件控制环境

6517B 静电计

8009 电阻率测试夹具

KickStart 高电阻率应用控制着执行所需测量的静电计和测试夹具，进行 ASTM- D-257 标准电阻率测量。它可以以高达1000V 电压测试材料，确定高达 1018 Ω-cm 的电阻率，分析电流随时间变化的阶跃响应图，确定测量要等多长时间被测材料才会稳定，分析多个读数图，确保获得稳定一致的测量。KickStart 高阻应用采用交换电极技术，消除固有的背景电流，实现最准确的电阻率测量。还可以使用这个应用，使用选配的热电偶和相对湿度探头，观测电阻率与温度和相对湿度的关联度。

相关应用:

• 6517B型静电计/高阻表非常适合物 理、光学、纳米技术和材料科学等研究 领域的低电流和高阻抗电压、电阻和电 荷测量。其极低的电压降非常适合太阳能电池测量，其内置电压源和低电流灵 敏度使之成为基于聚合物的纳米线等高 阻测量的出众解决方案。其高速和易用 性使之成为质量控制、产品工程和生产 测试（包括漏流、击穿和电阻测试）应 用的极好选择。利用6517B型静电计/高 阻表的电压反转方法，可以大幅改进对绝缘材料的体电阻率和表面电阻率测量。 6517B型静电计/高阻表还非常适合电化 学应用，如离子选择性电极和pH测量、 电导电池和电势测定。