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吉时利4200A-SCS半导体参数分析仪
  • 吉时利4200A-SCS半导体参数分析仪
  • 型号:4200A-SCS
  • 品牌:
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使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。

吉时利4200A-SCS半导体参数分析仪(图1)

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程,快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。

主要性能指标


I-V 源测量单元(SMU)
    ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

    100 fA测量分辨率

    选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

    10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

    100 μF负载电容

    四象限操作

    2 线或 4 线连接


C-V 多频率电容单元(CVU)
    AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

    1 kHz - 10 MHz 频率范围

    ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

    选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

    两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

    200 MSa/s,5 ns 采样率

    ±40 V (80 V p-p),±800 mA

    瞬态波形捕获模式

    任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率


高压脉冲发生器单元(PGU)
    
两个高速脉冲电压源通道

    ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

    任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

    在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针

    把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)

    在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

    把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

    降低电缆电容效应

典型应用

MOSFET, BJT 晶体管
材料特性分析
非易失性存储设备
电阻率系数和霍尔效应测量
NBTI/PBTI
III-V 族器件
失效分析
纳米器件
二极管和pn 联结
太阳能电池
传感器
MEMS 器件
电化学
LED 和OLED


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